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如此，1962年，我国成功制造出了第一代硅平面单晶管。1965年，研发出第一款光刻机。
陈春仙从事科研领域这么多年，想想后，算是被他说服。不过老陈同志仍然有他的考量。
“建昆呐，我不是不赞同你的想法，但是你想过两个问题吗。
&t;divtentadv>“第一，科院包括其他单位的研究员们，他们精通的领域各不相同。比如说我们研发姨妈巾和尿不湿，主要仰仗的是材料学的研究员，如果我们致力于研究电子科技，他们还能参与进来吗，能与我们同行吗？
“不是每个人都有创业的勇气的。”
陈春仙叹息一声后，继续说道：“第二，当前经济形势如此艰难，一个姨妈巾技术卖出一百万，尿不湿技术卖出三百万，是个企业都渴望新型技术。
“值此危难之时，我们难道不应该包罗万象，尽快从各个领域中孵化出更多的新技术，帮助社会走出经济泥沼吗？”
李建昆沉默，老陈的话自然没有错。只是他二人视界不同，一个主看当下，一个着眼未来。
“这样吧。”
他思忖后，做出让步，说道，“我同意科技大楼建成后，分出多个部门，做不同种类的研发，但有一点，核心部门必须研发电子科技，由你亲自主持。”
老陈想想后，点点头，“也好。”
复又问道：“电子科技是一个很笼统的概念，你打算研究啥？你以前说的芯片？不是我说啊建昆，这玩意是个系统工程”
“不。”李建昆打断他道，“研究光刻机。”
去年和老陈长聊几回后，他认真思考过，想靠一个研究单位，把芯片弄出来，确实有点不切实际。既然如此，芯片这个系统工程中的其他环节，他再想办法，日后慢慢整合。中关村这个实验室，则研究最基础最核心的东西光刻机。
老陈挠挠头道：“其实研究光刻机的，周边有两家机构呀。”
是啊，可他们最后都会放弃。
李建昆有这个计划后，自然打听过。目前国内研究光刻机整机的仅有的两家单位，全在方圆五公里内。
这是一个很好优势。
第一家是科院微电子所。1965年我国一款光刻机65型接触式光刻机。正是由他们联合魔都电子仪器厂，一起研发出来的。
不过现在似乎不太重视了，很多年没听说过有成果。
第二家在清华。清华有个精密仪器系。62年在旁边建起一个“精密光学仪器加工厂”，也被称为“9003实验基地”或“9003所”。
国内当下最先进的光刻机技术，全在里头。
1971年，他们研制出了第一台光刻机和分步重复照相机。这台光刻机与65年那款不同，它可以投入规模化生产。即世界光刻机领域划分中的，第一代光刻机。
1980年，他们又研发出了自动对准分步投影光刻机。即第二代。
众所周知，光刻机发展到2020年代时，共有五代。
一代和二代，从性质上讲，均为接触接近式光刻机。
第三代为扫描投影式光刻机。
第四代为进步扫描投影式光刻机，不同之处主要在于，使用了激光光源，使得芯片的制程和生产效率，大幅跃升。
第五代，即EUV光刻机。
